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RTP-SA低压退火炉
型号：RTP-SA
原理：RTP-SA退火炉利用卤钨灯做为热源，采用热电偶测量退火样品的温度，将晶圆或者材料在...
RTP退火炉（800S）
型号：RTP-800S
原理：RTP800S退火炉，利用卤钨灯做为热源，采用热电偶测量退火样品的温度，通过卤钨灯极快...
高温退火炉
型号：DD-803V