1991年毕业于长春理工大学(原长春光学精密机械学院)光学物理系;1994年获长春理工大学硕士学位;同年留校任职于高功率半导体激光国家重点实验室,主要从事半导体激光器工艺技术研究及半导体激光材料MBE 生长研究。1999年被评为长春理工大学副研究员。2003年6月获中国科学院半...
2006年毕业于中国科学院物理研究所,获理学博士学位。2006-2012年先后在日本、美国等国的多个高等研究机构工作。长期从事自旋电子器件及纳米电子器件的研究工作。2012年1月加入中科院苏州纳米所,受聘为研究员、博士生导师,主要从事纳米电子器件及纳米加工工艺技术研究。已在Phy...
目前主要从事集成微系统封装平台的日常运行管理、委托加工服务及项目合作工作。研究领域:ETCH、PVD、CVD、CMP工艺;FBAR、PMUT、DFB产品器件的工艺开发工作。
主要负责维持镀膜、刻蚀、cmp设备的运行和维护。
负责刻蚀、薄膜生长相关设备操作及工艺服务