原理：
在晶圆表面涂附光刻胶，并加热烘烤。
技术指标：
光刻胶非均匀性：＜3%
热板温度：±0.1℃
转速：≤5000rpm
最高加热温度：180℃
应用：
主要用于8inch晶圆批量涂胶。
示例：
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