原理：
在已曝光的晶圆表面喷涂碱性显影液，使晶圆表面光刻胶溶解，并清洗和甩干晶圆，实现图形转移
技术指标：
显影非均匀性：＜3%
热板温度：±0.1℃
喷涂模式：Puddle、喷雾
应用：
主要用于8inch晶圆批量显影或清洗
示例：
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