8吋全自动膜厚测量仪

1. 自动8寸晶圆盒传输系统

2. Excellent Repeatability (<0.3%)

3.Spectroscopic Reflectometer (SR) & Two optical light sources

4. 可测试100多种薄膜材料： SiO₂、SiNx、AlN、Al、Mo、PMMA等

5. 可以设定多点、多坐标快速测量

                                                                                                         SiO₂ 膜厚测量