主要参数:
1、可加工样品尺寸8吋；
2、研磨不均一性小于3%；
3、研磨后样品总厚度偏差小于3um；
4、片间厚度变化范围±3um；
5、研磨后表面粗糙度Ra<50nm。（#8000 finish）
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