原理
利用激光照射在样品表面，检测激光反射方向。激光反射的位置及方向直接反映样品表面的形貌，通过比较半导体材料镀膜前后衬底弯曲的变化，从而计算出材料应力大小。
技术指标
应力范围：1MPa-40GPa
激光波长：650nm和780nm
样品温度：RT-500℃
测量重复性≤1％
应用
用于薄膜生长的应力数值监控。8inch向下尺寸兼容。
示例
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