原理:
光刻机照射出紫外光,通过具有图形的掩膜版,对涂有光刻胶的晶圆曝光,利用感光后的光刻胶在溶液中的溶解速度不同实现图形转移。
技术指标:
光源:紫外宽带
最小分辨率:1.2μm
正面对准精度:0.8μm
对准模式:手动对准、自动对准
应用:
主要用于8inch晶圆批量自动曝光,具有正面和背面对准功能。
示例:
8inch晶圆光刻
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